НаукаНаучно-исследовательская деятельностьНаучные проекты → 2.1.1/9673 Пленочные нанофазы и формирование металл-полупроводниковых наноструктур на кремнии

2.1.1/9673 Пленочные нанофазы и формирование металл-полупроводниковых наноструктур на кремнии

Дата начала проекта: 01.01.2009

Дата окончания проекта: 31.12.2011

Цель:

исследование закономерностей и явлений в процессах зарождения и роста ультратонких пленок металлов и их силицидов на затравочных, промежуточных слоях или слоях-прекурсоров пленочных нанофаз переходных металлов на кремнии для создания новых наноприборов с рекордными параметрами.



Результат:

Установлена зависимость состава пленок металлов, обладающих высокой проводимостью и высокой степенью намагниченности, от типа стабильных пленочных нанофаз переходных металлов.
Исследована зависимость морфологии пленок, обладающих высокой проводимостью и высокой степенью намагниченности, от типа стабильных пленочных нанофаз переходных металлов. Исследованы морфология и состав пленок проводящих (Cu) и магнитных (Fe) металлов, их силицидов толщиной до 10 монослоев и многослойных пленок, в зависимости от типа прослоек из пленочных нанофаз Cu, Fe и Fe-Si, а также температурных режимов роста. Обнаружено изменение механизма роста и рельефа поверхности пленок Fe на Si(001) с изменением температуры источника, а также под влиянием атомно-тонких прослоек из адсорбированного кислорода и пленочных нанофаз Cu. Выделены 4 процесса с энергиями активации ~ 0,03, 0,08, 0,76 и 0,32 эВ, ответственные за изменение плотности атомно-тонкой пленки Fe, ее состава и морфологии. Найден метод контроля состава и концентрации пор в нанослоях силицидов Fe на Si(001). Получены гладкие атомно-тонкие пленки Cu в виде пленочных нанофаз Cu и Cu2Si на Si(001)2×1.



Программа: Развитие научного потенциала высшей школы (2009-2010 гг)

Уровень проекта: Федеральные (МинОбрНауки)

Финансирование: Министерство образования и науки