Способ создания проводящих нанопроволок на поверхности полупроводниковых подложек
Авторы ВВГУ
Зотов А.В.
Номер патента
№ 2007143736/28(047915)
Редакция МКП
H01L 21/28 (2006/01)
Класс МКП
B82B 3/00 (2006/01)
Номер заявки:
2007143736
Дата подачи заявки
26.11.2007
Дата опубликования
26.12.2008
Номер бюллетеня
28(047915)
Документы для скачивания