Способ создания проводящих нанопроволок на поверхности полупроводниковых подложек

Авторы ВВГУ
Зотов А.В.
Номер патента

№ 2007143736/28(047915)

Редакция МКП

H01L 21/28 (2006/01)

Класс МКП

B82B 3/00 (2006/01)

Номер заявки:

2007143736

Дата подачи заявки

26.11.2007

Дата опубликования

26.12.2008

Номер бюллетеня

28(047915)

Документы для скачивания
pdf Патент 64 кБ