Измерение четырехзондовым методом электрической проводимости подложек кремния
Авторы ВВГУ
Рыжков С.В.
Номер патента
2009613648
Номер заявки:
2008616278
Дата подачи заявки
30.12.2008
Дата опубликования
08.07.2009