Измерение четырехзондовым методом электрической проводимости подложек кремния
Авторы ВВГУ
Белоус Игорь Александрович
Регистрационный номер
2009613648
Дата регистрации
08.07.2009
Номер заявки
2008616278
Дата подачи заявки
30.12.2008
Реферат
Описана программа управления аппаратно-программным комплексом для измерения поверхностной электрической проводимости подложек кремния in situ четырехзондовым методом
Документы для скачивания
