Эпитаксиальный рост кремния на кремнии, имплантированном ионами железа, и оптические свойства полученных структур
Название
Эпитаксиальный рост кремния на кремнии, имплантированном ионами железа, и оптические свойства полученных структур
Тип материала
Статьи
Год
2008
Авторы ВВГУ
- Горошко Дмитрий Львович
Журнал
Журнал технической физики
Документы для скачивания