Автоматизация микробалансного метода измерения покрытий адсорбата in situ

• Белоус Игорь Александрович

  Владивостокский государственный университет экономики и сервиса
  Владивосток. Россия
  канд. физ.-мат. наук, доцент кафедры информационных технологий и систем

• Владивостокский государственный университет экономики и сервиса
  Владивосток. Россия
  канд. техн. наук, доцент кафедры информационных технологий и систем

Для количественного измерения величины покрытий адсорбата при росте тонких плёнок широко применяется метод кварцевого микробаланса, который заключается в измерении сдвига резонансной частоты специального кварцевого резонатора, зависящего от массы адсорбированного на нем вещества. Описана система, разработанная для автоматизации измерений уровня покрытия при формировании тонких плёнок in situ. Автоматизированная система позволяет в автоматическом режиме производить измерения, исключив тем самым влияние грубых погрешностей (промахов оператора) на результаты измерений.

Ключевые слова и словосочетания: кварцевый микробаланс, покрытие адсорбата, автоматизация измерений, плата сбора данных.